PECVD相关论文
阐述4H-SiC晶圆的Si面上通过CVD淀积与低温热氧化生长的双层栅氧化物结构，在高温氮气环境下可降低4H-SiC/SiO2界面的高密度界面缺陷......
氮化硼（BN）是十分重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物,具有优异的物理化学性能,如宽带隙、高热导率、优异的化学稳定性,良好的机械性能和抗氧化性等......
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研究不同时间氢等离子体处理（HPT）氢化非晶硅a-Si:H（i）钝化层对高效晶硅异质结太阳电池（效率＞23%）性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝......
光伏行业在蓬勃发展，作为光伏电池生产中核心工艺设备的PECVD设备的反应炉和载片机构也随着硅片尺寸的持续增长而不断增大，直至原有......
在ITO玻璃和普通玻璃上用PECVD技术制备掺N类金刚石薄膜,用XP-1台阶仪测量薄膜厚度,并用U4100分光光度计分析测试薄膜反射光谱与氮......
具有橄榄石结构的LiMnPO4是目前最具潜力的锂离子电池正极材料之一,它最大的优势是其高电压平台及高理论能量密度,同时它的热稳定......
为了解决锂离子电池原料缺乏以及成本较高等问题,研究人员不断努力寻找一种电池作为理想的锂离子电池替代品。然而,由于钠离子电池......
铜箔在电子信息、连接器、音视频传输和锂离子电池等领域,铜箔都存在很广泛的应用,但存在耐腐蚀性差与导电性差的问题。类金刚石（DL......
目前，人们在制备形貌、取向可控纳米材料方面还面临巨大的挑战，而如何控制纳米线生长是制造纳米器件的关键所在。本文介绍了采用等离......
氮氧化硅(SiOxNy)作为减反射膜,可以兼备氮化硅(SiNx)的减反效果和二氧化硅(SiO2)的钝化效果.本文在工业型DIRECT-PECVD 上,通过优......
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研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例, 讨......
介绍了利用傅里叶变化法设计多波段渐变减反膜的原理和方法, 研究了采用该方法设计多波段减反膜时Q函数的优选流程, 给出了最优Q函......
针对半导体产业对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用自制的PECVD设备研究了SiO2薄膜生长的膜厚均匀性分别与喷淋板孔结构和工艺参数之间......
典型加热方式的反应腔已逐渐难以满足硅片尺寸增大、装片量要求增多情况下的生产需要,论文提出在反应腔中内置辅助加热装置,并进行......
A ball grid array (BGA) package based on Si interposer with through silicon via (TSV) was designed. Thermal behaviors of......
自锂离子电池商业化已来,传统的石墨负极材料实际比容量已经接近372 mAh/g的理论值,提升空间有限,已经成为制约锂离子电池发展的瓶......
石墨烯具有的优异物理和化学性质使其自被发现以来就获得产学研界的广泛关注与研究。目前制备石墨烯的方法众多,在这众多制备石墨......
近年来,地球含量较高的过渡金属基材料,如碳化物、氮化物、氧化物、磷化物和硫化物成为新的电催化材料。通过对Ni/Co/Fe基材料的合......
氢化非晶碳薄膜(a-C:H)和硅掺杂非晶碳薄膜(a-C:Si)由于具有高的硬度、低摩擦系数、高的可见光透射率、低电导率、稳定的室温光致......
近年来,碳基材料一直是国内乃至国际上的一个研究热点。其中非晶碳(a-C)薄膜的应用尤为广泛,人们对非晶碳薄膜的研究进行了很多年,......
石墨烯是一种二维碳材料,由于其优异的性能,引起了巨大的研究热潮。垂直石墨烯由具有垂直形态的石墨烯纳米片组成,其不仅具有与平......
石墨烯是单层碳原子以sp2杂化紧密堆积成的二维（2D）碳材料,由于其具有独特的性质,包括室温下超高载流子迁移率,高导热率和优异的拉伸......
包含在富硅-氮化硅薄膜内的硅量子点,由于其具有量子限制效应的特性,经过合理的设计尺寸可实现在各波长段可调,而且可以极大地提高......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition,RF-PECVD)技术在玻璃衬底上沉积......
采用光刻技术、刻蚀技术和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在线阵掩模微结构表面沉积了SiO2和Si3N4薄膜,研究了线阵掩模的宽......
PECVD SiN膜在半导体器件表面钝化推广应用中,采用一种SiO-SiN双重结构形式.本文介绍了有关的试验数据、理论分析以及实际应用.
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石墨烯是由碳原子六角结构紧密排列的二维单层石墨层，它可以包成零维的富勒烯，卷成一维的碳纳米管或者堆垛成三维的石墨，故石墨烯......
会议
提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9......
该文的主要工作就是研究在国产PD-I型PECVD沉积台上,不同条件(包括沉积条件及后道工艺,如热处理等)对SiNx:H膜的特性的影响,以及薄......
随着当前科学技术的不断发展,人们生产生活的方式改变,对于能源的需求也正在不断的增加.太阳能作为绿色清洁能源,如何高效的收集并......
掺氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜是一种基于传统的类金刚石薄膜(DLC)和氟化非晶碳(a-C：F：H)薄膜的改性材料。结合了DLC和a-C：F：H薄膜的优......
硅基薄膜作为一类重要的光电功能材料,由于其独特的性能,使其在新能源、信息显示、光敏器件等高科技领域具有十分重要的应用价值。......
晶体硅表面能够反射大约 38%的太阳光,通过减反射膜的制备能够降低硅片的反射,使其吸收更多的光,提高太阳电池的转换效率和降......
该论文主要内容分为四章,是为了配合美国3D-ROM公司关于3D-ROM的研究与开发.非晶硅二极管是3D-ROM的重要组成部分,它性能的好坏,决......
稀磁性半导体是指:带有磁性的过渡金属或稀土金属离子低浓度掺杂,替代半导体中非磁性阳离子后形成的一类带磁性半导体材料。这类材......
含氟碳膜是一种很有应用前景的集成电路用介质材料，其低的介电常数和较好的热稳定性使它可以取代传统的SiO_2作为致密、高速集成电......
该文研究了氮化硅薄膜的性能、磷铝吸杂对于多晶硅太阳电池的影响.首先,该文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备了氮化硅薄......
氟化非晶碳薄膜是用于超大规模集成电路的一种重要的低介电常数材料,作为电介质薄膜其热稳定温度必须达到平面工艺的温度要求(400......
二氧化锡(SnO_2)是一种宽带隙的金属氧化物。SnO_2 薄膜具有可见光透过性强、紫外吸收系数大、有一定红外反射能力、化学性能稳定......
